實(shí)驗(yàn)室凈化中壓差控制點(diǎn)

梯度壓差： 必須保證氣流從清潔區(qū)→半污染區(qū)→污染區(qū)方向流動(dòng)。通常是清潔區(qū)為正壓，污染區(qū)為負(fù)壓。相鄰房間的壓差應(yīng)維持在 10-15 Pa 左右。

穩(wěn)定性： 采用自動(dòng)化的壓差控制系統(tǒng)，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并調(diào)節(jié)送排風(fēng)量，以應(yīng)對(duì)開關(guān)門、設(shè)備啟停等帶來的擾動(dòng)。